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发布时间:2021-12-21 12:33:00 作者:金常来
在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位。各种规模的继承电路。包括存贮器、运算器、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器,约瑟夫逊器件、电荷耦合器件(CCD)也都甬道各种薄膜。在元件方面,在真空中蒸发镍铬,铬或金属陶瓷可以制造电阻,在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器,蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。
镀耐磨装饰膜,膜厚较大,要求与机体结合牢固,但均匀性要求不高
如果镀耐磨装饰膜,膜厚较大,要求与机体结合牢固,但均匀性要求不高。霍尔离子源可用。它具有高离子电流和高离子能级。如果涂有光学薄膜,主要要求离子电流水平集中,离子电流均匀性好。所以使用考夫曼或射频离子源,有条件可以使用ECR(电子回旋)或ICP(电感耦合)离子源。另外还要考虑耗材,比如钨丝的霍尔源,在反应气体中十个小时就会烧坏。而离子源,如ICP离子源,可以在反应气体中连续工作数百小时。
真空镀膜技术是一项新兴的技术
真空镀膜技术是一项新兴的技术,国际上直到60年代才开始将CVD(化学气相镀膜)技术应用到硬质合金工具中。因为这种方法需要在高温(工艺温度高于1000oC)下进行,且涂层类型单一,局限性很大,所以在开发初期还有待改进。离子镀膜的基本原理:在真空条件下,采用一定的等离子体离子化技术,使镀层原子部分离子化,同时产生大量高能中性原子,并在镀层表面施加负偏压。因此,在深度负偏压作用下,离子沉积在基体表面形成薄膜。
真空镀膜pvd工艺流程
真空镀膜pvd工艺流程具体说明如下:表面处理:通常,镀膜之前,应对基材(镀件)进行除油、除尘等预处理,以保证镀件的整洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。对于特殊材料,如PE(聚乙烯)料等,还应对其进行改性,以达到镀膜的预期效果。底涂:底涂施工时,可以采用喷涂,也可采用浸涂,具体应视镀件大小、形状、结构及用户设备等具体情况及客户的质量要求而定。采用喷涂方法,可采用SZ-97T镀膜油;采用浸涂方法,可采用SZ-9SZ-97+1等油,具体应视镀件材料而定。
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