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发布时间：2020-12-21 06:09:00 作者：金常来
真空镀膜室壁上单分子层所吸附的分子数Ns与气相中分子数N的比值近似值。通常在常用的高真空系统中，其内表面上所吸附的单层分子数，远远超过气相中的分子数。因此，除了蒸发源在蒸镀过程中所释放的气体外，在密封和抽气系统性能均良好和清洁的真空系统中，若气压处于10-4Pa时，从真空室壁表面上解吸出来的气体分子就是真空系统内的主要气体来源。真空下室壁单分子层所吸附的分子数与气相分子数之比分子数与气相分子数A-镀膜室的内表面积，cm2;V-镀膜室的容积，cm3;ns-单分子层内吸附分子数，个/cm2;n-气相分子数，个/cm3 次数用完API KEY 超过次数限制
同时几种涂层的硬度均高于HV3000，而且在高温下可以有效的保持硬度，可以抵御高温金属液体对模具造成的应力变形。有涂层公司针对此问题研发了真空PVD镀膜涂层前处理的新技术，结合其它表面技术和真空PVD镀膜涂层复合作用，在改善液体金属粘模和热龟裂方面取得了一定的成绩。例如HCVAC研发了一款设备可以在同时完成压铸模具的软氮化 真空PVD镀膜涂层，有效的解决了传统涂层和氮化基体之间结合力差的问题，进一步提高了压铸模具的使用寿命。还有大多数公司则采用厚涂层的概念通过沉积足够厚度的涂层来提高模具的使用寿命。 次数用完API KEY 超过次数限制
外层膜表面硬度：减反膜一般外层选用MgF2，该膜层剖面是较松散的柱状结构，表面硬度不高，容易擦拭出道子。
改善对策：
㈠膜系设计允许时，外层加10nm左右的SiO2层，二氧化硅的表面光滑度优于氟化镁（但二氧化硅表面耐磨度、硬度不如氟化镁）。镀后离子轰击几分钟，牢固度效果会更好。（但表面会变粗）
㈡镜片出真空室后，放置在较干燥洁净的地方，防治快速吸潮，表面硬度降低。其它造成膜强度不良的原因还有，真空度过低（在手动控制的机台容易发生）、真空室脏、基片加热不到位。 次数用完API KEY 超过次数限制
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