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而它的电子的来源有二：高温金属产生的热电子，另一种电子的来源为中空阴极放电。(4)雷射加热：激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上，产生局部瞬间高温使其逃离。zui早使用的是脉冲红宝雷射，而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高，因此准分子雷射的功率密度甚高，用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物，镀膜的品质甚佳.它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异，准分子雷射脱离的是微细的颗粒，后者则是以分子形式脱离。(5)电弧加热：阴极电弧沉积的优点为：①蒸镀速率快，可达每秒1.0微米；②基板不须加热；③可镀高温金属及陶瓷化合物；④镀膜密高且附着力佳。

用得较多的是磁控溅射、中频溅射、直流溅射、RF溅射和离子束溅射。特征：在真空室内充入放电所需要的惰性气体(如ya气)，在高压电场作用下气体分子因电离而产生大量正离子。带电离子被强电场加速，便形成高能量的离子流轰击蒸发源材料(称为靶)。在离子轰击下，蒸发源材料的原子将离开固体表面，以高速度溅射到基片上并沉积成薄膜。RF(射频)溅射RF溅射使用的频率约为13.56MHz，它不需要热阴极，能在较低的气压和较低的电压下进行溅射。

涂层颜色：目前，PVD涂层能够做出的颜色有深金黄色、浅金黄色、咖啡色、古铜色、灰色、黑色、灰黑色、七彩色等。通过控制涂层构成中的相关参数，可以控制涂层的颜色。PVD涂层质量指标情况：当前，随着国内外市场对刀具、工具、模具等产品需求的增长，***PVD涂层行业得到快速发展。PVD涂层技术工艺处理温度低，在600℃以下时对工件材料的抗弯强度无影响，薄膜内部应力状态为压应力，更适合对硬质合金精密复杂工件如刀具的涂层。

同时，PVD涂层技术对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。其PVD涂层技术质量指标为：PVD涂层的应用：（1）主要应用：PVD涂层一般分为装饰性镀膜、工具模具硬质镀膜以及各种功能膜层。这里主要分为功能性涂层和装饰性涂层两大类。①功能性PVD涂层：主要是为了提高工件（如刀具或零部件）的表面硬度和耐磨度，减低表面的摩擦系数，提高工件的使用寿命及综合性能，减少每件产品的制造成本，例如高速钢立铣刀表面的TiN涂层。