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电弧增强辉光放电刻蚀这个模块的设计原理和溅射刻蚀模块的设计原理相似(图8。取代在基底背面的磁控系统的是与空心阳极底部结合的电弧蒸发器，电板蒸发器利用挡板与基底隔开。在基底附近的附加电极收集来自挡板后面的电弧等离子体的电子。这些电子在基底附近产生一个强且宽的等离子体。等离子体的密度可以轻易地利用蒸发器的电流和附加电极来控制。在操作中，与在反转磁控溅射情况下相同的直流或中频电源可以用于提供空心阳极的偏压。在初步的试验中，已经发现对于钢带的刻蚀率在12nm/s的级别内，并且仅使用了溅射刻蚀模块所需偏压电源的一半。

在真空区段，实现了两种不同的PVD工艺：来自完全密封的辐射加热石黑坩埚的用于低熔点材料如锌或镁等的调整蒸发的JET-PVD镀膜。用两个100KW电子从水冷铜坩埚中调整蒸发高熔点材料如铁、镍和钛以及金属化合物、无机化合物(如二氧化硅)等的EB-PVD镀膜。运行的结果从已经得到广泛试验的JET-PVD和等离子清洗工艺获得。在本文的余下部分将相当详细在描述这些结果，包括实际工艺试验程序的结果。

我国作为世界的制作基地，有很多的产品需求外表处理、装修。现在选用的办法有水镀、喷漆、电泳、阳极氧化等。但这些对环境都形成必定的污染。而真空镀膜是现在仅有对环境没有任何污染的外表处理方式。多年来，我公司现已在真空镀代替传统水电镀方面做了很多的研制，在塑料、不锈钢、铁及铜材外表的真空镀膜设备及工艺上，取得了必定的成果，能够部分代替水电镀，已有很多设备进入市场，实现市场化的出产，在一些新的工艺上咱们做出进一步的研制投入。

镀钛一般用于提高物件表面耐磨性，比如，高速加工中心用的丝锥、钻头，都可以镀钛，以提高刀具的耐磨性，还有活塞环表面处理也有镀钛，同样是为了提高耐磨性。另外还有装饰性镀钛，不如街头上几块钱就能买到的类似黄金戒指，一般都是镀钛处理里的.主要是颜色金黄，好看、防止物件表面氧化、锈蚀等。镀钛左钻可塑性足，但抗压强度不高，耐磨性能并并并不是好的，但是加工深孔，目前的市场销售中镀钛左钻是更加合适的选择，而如果是加工潜孔不锈钢板材等原材料，钨钢左钻也是个很好的选择，对于自动车床开洞加工，宝佳数控刀具的建议是搭配合理的根据不一样产品原材料选择合适的左钻，镀钛左钻和钨钢左钻没有好仅有共存。